全职美工 阻断中国7nm芯片路? ASML所有浸润式DUV光刻机, 都禁售了
众所周知全职美工,光刻机和芯片工艺是一一对应的。如下图所示,这是光刻机类型,对应的芯片工艺。
可以看到普通的DUV光刻机,也就是干式ArF光刻机,最多能制造65/55nm的芯片。
而浸润式DUV光刻机,也就是ArFi光刻机,最多能够制造到7nm的芯片,甚至按照林本坚的说法,还可以向5nm芯片工艺推进的。
至于5nm芯片之后全职美工,那就必须使用EUV这种极紫外线光刻机了,用DUV光刻机已经制造不出来了,因为DUV光刻机的光线波长经水折射也也毕竟有134nm,波长太长,分辨率不够。
而国内之前能够买到所有的浸润式DUV光刻机,而EUV光刻机买不到,美国不允许ASML销售给中国,因为美国怕中国研发出了7nm甚至更先进的芯片工艺。
后来,美国又限制了ASML,不准出售先进的浸润式DUV光刻机,当时只允许出售两款较旧的浸润式光刻机,分别是TWINSCAN NXT:1970i和1980i深紫外光微影(DUV)系统。
因为当时只有较为先进的浸润式DUV光刻机,才有可能进入7nm工艺,相对较老的全职美工,像1970i和1980i,要进入7nm相对较麻烦,良率较低,成本高。
上架产品而近日,有媒体报道称,上海1688外包美工荷兰政府再次更改了规则,这次连ASML之前能够出口的1970i和1980i这两款老一点的浸润式DUV光刻机,也限制住了。
荷兰政府虽然没有说只是针对中国,但明眼人一看就能看出,就是针对中国的,因为一旦ASML出口这两种机器,也需向荷兰海牙政府申请出口许可证,新政于9月7日正式生效。
很多人分析称,一是因为虽然1970i和1980i要生产7nm芯片较难,但其实还是可以的,毕竟也有先例。二是看到中国芯进步很快,明显已经超过了美国的预期,所以美国不敢再让ASML出口1970i和1980i了,之前的芯片已经是例子了。
美国的意图很明显,那就是彻底阻7nm芯片之路,因为一旦这两款也禁了后,就没有了浸润式DUV光刻机了,没有了浸润式光刻机,就不可能进入7nm了吧,至于5nm,当然就更加没希望了。
再结合之前的不准ASML维修光刻机全职美工,也就是说新的不准买,旧的坏了不准修,让其变成废铁,美国的想法还是很美好的,接下来就看我们如何破局了。
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